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数字 MEMS 麦克风

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aiKon 发表于 2019-7-31 12:34:42

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+ R8 x. b5 H/ u& ?* e# r/ [' E数字 MEMS 麦克风" `+ V  F1 M$ s: n" {/ R

1 h, a0 Y" B- C6 o( u. Q3 X' r7 S数字 MEMS(MicroElectroMechanical System 微型机电系统)麦克风在各类消费设备,机动车辆和工业应用中广泛使用。一支 MEMS 麦克风的声学传感器和数模转换器集成在一块硅片上。只占用 PCB(印刷电路板)上很小的空间,让麦克风可以和信号处理器直接相连。; r9 h3 D9 H) z- Y4 R

& `. z1 ^0 u% d* V3 U5 s' h  a$ w5 ?$ a3 y
六支 MEMS 麦克风组成的阵列
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由于语音识别类应用的高速增长,数字 MEMS 麦克风通常以阵列的形式出现。为了确保完美无瑕的运行,麦克风的绝对技术指标,以及更重要的,阵列中所有麦克风相互协同的性能都必须严格测试。6 Z+ b, S9 }: Y8 Y

: Z9 T- Z, B5 r; j数字 MEMS 麦克风特性
- G6 C) Y$ c9 U& q  G2 m
& w: r' H! P& \: O0 y主流 MEMS 麦克风输出 1/2 周期的 PDM(脉冲密度调制)数字信号。麦克风需要一个时钟输入(CLK),并通过 DATA 接口输出数据。此外,两支麦克风共用一条数据线。因此,它们分别配置为“左(L)”或“右(R)”麦克风。只需将 L/R 输入接 Vdd 或地即可实现。MEMS 麦克风供电大多为 1.8 V 或 3.3 V。
! L/ l0 p7 l9 A
+ |* K% t& {. k" ]: x/ y实际运行时,“左”麦克风会在时钟信号的每个上升沿写下一个字节,“右”麦克风则在下降沿。当一支麦克风写数据时,另一支麦克风会将数据输出端置于高阻抗模式。在接收信号的信号处理器中(DSP),左右两个信号再被一起灌入两个信号流中。
* k, [- D4 L/ ]+ V/ U, S3 h
( r8 y. A# g+ i. R
" [6 G5 [  L# [. L两支数字 MEMS 麦克风工作示意7 i- `  S  ?+ ^# I; Z; }; P/ _
& ?& a/ c; V- k! ^/ d, P
如果两支麦克风中的一支没有安装或丢失了呢?
! f8 U: W" d' T, J! H" {: \7 D/ p8 b) Q( M
只有一支 MEMS 麦克风正常工作示意
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6 \: {. v* q: g5 c! |2 w示例中,右麦克风丢失,因此只剩左麦克风在写入数据。在信号下降沿,左麦克风将其数据端口置于高阻抗状态。数据链仍保持之前的状态,这样,对于数据接收端的 DSP 来说,右麦克风传来的信号和左麦克风完全相同。两条数据流是一样的!测试系统必须能识别这一问题,测试电路板上的 MEMS 麦克风阵列时,检测麦克风丢失是最基本的。1 @5 j. V4 {, j  o% [/ o7 g

' j/ F& B( t4 i- p6 |2 r' f8 ^; {控制数字 MEMS 麦克风的时钟频率从几百 kHz 到 3 MHz 不等。频率越低,功率越小,音质也更差。
1 |' Z$ O. U% f) V2 u9 R9 U* i( Y7 g: U1 \, R4 }. v9 n
为了确保数字信号的完整,数字 MEMS 麦克风和音频测试系统间的距离越短越好。这类麦克风不适合连接过长且电容过高的缆线。
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# I9 H6 W8 `3 D- g测什么?
2 b5 [0 h! l5 n% z8 X: t' Q/ d) d
% k0 g2 U# U- M& u2 @6 z0 \6 ]: i要测试数字 MEMS 麦克风的声学参数,数字信号需要接入音频分析仪,或转换为其它格式,比如模拟信号。品质控制测试中涉及的参数和其它大多数麦克风基本一致,如灵敏度,频率响应,失真,信噪比(SNR)等。实验室环境下完整的测试内容有 EIN(等效输入噪声),PSR(电源抑制),PSRR(电源抑制比)和动态范围等。此外,还可以通过转台测试麦克风在不同频率下的指向性。& D# q' l7 |' c) R" _* Q. M
6 ^" p. P  F& J# Y: Y
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麦克风极性图
6 X) G9 F  H. O& v7 i# c8 _. M5 K8 f7 L3 ^+ L; O' B; c, X
对于所有的绝对测量(单位不是 % 或 dB),数字 MEMS 麦克风测量结果的单位不同于模拟麦克风。比如模拟麦克风的灵敏度单位是 mV/Pa 或 dBV/Pa,而数字麦克风的单位则为 dBFs,它表示“满刻度分贝”,描述的是 94 dBSPL(1 Pa)到被测麦克风最大数字输出间的余量。这个最大输出也是 AOP(声学过载点)。. Z. U4 [- z4 E$ D9 H

, ?" Y! e/ k1 j! H. q" b8 d' {9 h! C9 E) A% @
声学 vs. 数字 vs. 模拟
% d3 w6 h% L' Z: y( b- c" K" m! N
4 z: J9 K7 N3 U- a1 J$ |& b$ c. n2 U4 O1 Y
测试单支 MEMS 麦克风的情况其实非常少见。多数情况下,测试的都是集成在电路板上的多支 MEMS 麦克风。要确定该电路板的性能,必须弄清所有 MEMS 麦克风之间的相对性能。一个典型的参数是“灵敏度跨度”,也就是 MEMS 麦克风中最大灵敏度和最小灵敏度的差值。
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